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95、如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象?

2019-02-15

答:采用灭弧电源和脉冲溅射可以达到此目的。前者定时地产生一个反向脉冲进行中和,根除诱因。后者使靶与阳极周期交换位置,能及时中和靶上的正离子及阳极上的电子,从而达到抑制“拉弧”的目的。



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