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98、如经过长时间精抽后,真空室本底压力为P,而在随后的沉积过程中,工作压力为50P,试问这两种情况下,真空室内活性气体分压各为多少?

2019-02-15

98、如经过长时间精抽后,真空室本底压力为P,而在随后的沉积过程中,工作压力为50P,试问这两种情况下,真空室内活性气体分压各为多少?

答:系统长时间抽气后,其本底经质谱分析可确定其中90%以上皆为活性气体(水蒸气),所以精抽后真空室内的活性气体分压就近似等于本底压力P。当进入50P的工作压力后,其活性气体分压大小要分两种情况讨论,其一是系统抽速不变的情况,此时活性气体分压仍近似等于P,或略低于P,因为此时空间压力的增大会适当减少放气量。另一种情况是50P的工作压力下让原真空机组不能正常工作,必须通过节流使机组主泵处于正常工作的压力,如扩散泵正常工作的泵口压力为5×10-2Pa,涡轮分子泵正常工作的泵口压力约为8×10-2Pa节流的结果必然降低泵的有效抽速,通常抽速要减小1-5倍,在该情况下,真空室内的活性气体分压,即提高2-5倍。


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